是事业单位，中国电子科技集团公司第四十五研究所创立于1958年，1966年在国家“三线”建设的大潮中从天津市搬迁到甘肃省平凉县，1997年在河北省燕郊经济技术开发区建设分所，2007年开始在北京经济技术开发区建设总部基地。2010年9月，中央机构编制委员会办公室批准45所第一名称更改为“北京半导体专用设备研究所”，第二名称仍保持“中国电子科技集团公司第四十五研究所”不变。2010年12月，45所顺利完成了注册地转移工作，形成了以北京为总部，在上海、平凉、燕郊三地设有4个控股公司的战略布局。
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